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Introducción al análisis y diseño de MEMS

(editora)

En esta obra se presenta una introducción a los Circuitos Integrados, enfocándose posteriormente en los fundamentos del análisis de algunos dispositivos MEMS representativos, abordando con detalle la metodología de diseño de la viga en voladizo, el actuador chevrón y el acelerómetro, así como de un resonador y un microgenerador piezoeléctrico. Se presentan también los principios […]

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CITAR DIRECTO https://doi.org/10.52501/cc.104
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Año: 2023
Edición: Primera
Colección: Colección Ciencia e investigación
ISBN: 978-607-59668-0-9
Páginas: 355
Tamaño: 16.5 x 23 cm

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En esta obra se presenta una introducción a los Circuitos Integrados, enfocándose posteriormente en los fundamentos del análisis de algunos dispositivos MEMS representativos, abordando con detalle la metodología de diseño de la viga en voladizo, el actuador chevrón y el acelerómetro, así como de un resonador y un microgenerador piezoeléctrico. Se presentan también los principios básicos de fabricación y se muestra el potencial de uso del grafeno. Además, se presentan los principios básicos y ejemplos de la simulación por elemento finito en Ansys, ya que, tanto el modelado teórico, como numérico y la fabricación constituyen temas indispensables para quienes tengan el interés de iniciar o consolidar su conocimiento en este interesante e innovador tema. introducción a los circuitos integrados, enfocándose posteriormente en los fundamentos del análisis de algunos dispositivos MEMS representativos, abordando con detalle la metodología de diseño de la viga en voladizo, el actuador chevrón y el acelerómetro, así como de un resonador y un microgenerador piezoeléctrico. Se presentan también los principios básicos de fabricación y se muestra el potencial de uso del grafeno. Además, se presentan los principios básicos y ejemplos de la simulación por elemento finito en Ansys®, ya que, tanto el modelado teórico, como numérico y la fabricación constituyen temas indispensables para quienes tengan el interés de iniciar o consolidar su conocimiento en este interesante e innovador tema.

Margarita Tecpoyotl Torres

Doctora en Electrónica por el Instituto Nacional de Astrofísica, Óptica y Electrónica, INAOE, (México). Ha colaborado como corresponsable en la elaboración de los programas de Posgrado en Ingeniería y Ciencias Aplicadas, y como responsable de la elaboración de los Programas Educativos: Licenciatura en Tecnología con Áreas Terminales en Física Aplicada y Electrónica, así como Especialidad y Maestría en Comercialización de Conocimientos Innovadores. Es miembro del Sistema Nacional de Investigadores desde 1999. Ha publicado diversos artículos de investigación y divulgación, así como capítulos en libro, en áreas como: diseño de MEMS, antenas y gestión de la innovación. Cuenta con 6 patentes otorgadas por el IMPI, 9 certificados de derechos de autor y 2 marcas registradas. Es Academic Editor of the Asian Journal of Environment & Ecology. Member of Topic Editorial Board of Micromachines Journal y Guest Editor of the Special Issue “Novel devices and advances in MEMS fabrication processes” de Micromachines Journal.


ORCID logohttp://orcid.org/0000-0002-4336-3771




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